Kohteen pinnan puhdistus tehdään mahdollisen pölyn tai lian poistamiseksi. Metallitaulujen puhdistamiseen voidaan käyttää neljää vaihetta:
Puhdistus tehdään aluksi asetonilla kostutetulla, pehmeällä nukkaamattomalla liinalla.
Alkoholilla puhdistamiseksi toinen menettely on samanlainen kuin ensimmäinen;
Puhdistus deionisoidulla vedellä on kolmas vaihe. Kohdetta tulee kuivata uunissa 30 minuuttia 100 celsiusasteessa sen jälkeen, kun se on puhdistettu deionisoidulla vedellä. Oksidi- ja keraamisten kohteiden puhdistamiseen suositellaan "nukkaamatonta liinaa".
Kohde huuhdellaan korkeapaineisella, vähäkosteisella argonilla neljännessä vaiheessa, jotta päästään eroon kaikista epäpuhtauksista, jotka voivat johtaa kipinöintiin sputterointijärjestelmässä.
Varmista, että kätesi ovat puhtaat ja nukkaamattomat, ennen kuin käytät kohdemateriaalia. Älä koskaan laita käsiäsi suoraan kohdeaineen päälle.
Sputterointiradan keskelle ja molemmille puolille kerääntynyt roiske on poistettava asteittain, jotta estetään likaisen ontelon aiheuttama oikosulku ja kipinöinti sputteroinnin aikana. Tämä antaa myös käyttäjälle mahdollisuuden toimia jatkuvasti suurimmalla tehotiheydellä. Sputtering.
