Millaisia kohdemateriaaleja on olemassa?(1)
Mitkä ovat kohdemateriaalit?
Tavoite on itse asiassa laaja käsite. Kohdemateriaalit voidaan luokitella kolmella tavalla:
1. Ulkomittojen mukaan se voidaan jakaa sylinterimäisiin, suorakaiteen muotoisiin, neliömäisiin levykohteisiin ja putkikohteisiin. Materiaalin mukaan kohdemateriaalit voidaan jakaa metallikohteisiin, polymeerikeraamisiin ei-metallikohteisiin ja metalliseoskohteisiin jne.;
2. Materiaalin mukaan kohdemateriaalit voidaan jakaa tavanomaisiin metallikohteisiin, jalometallikohteisiin, harvinaisiin maametallikohteisiin, ei-metallikohteisiin, metalliseossputterointikohteisiin, keraamisiin sputterointikohteisiin jne.;
3. Sovelluskentän mukaan se voidaan jakaa puolijohteiden kohteiksi, näyttöpaneelien kohteiksi, aurinkokennojen kohteiksi, magneettisen tallennuksen kohteiksi jne.
Luokittelu kohteen muodon mukaan
Yleisiä kohteita ovat enimmäkseen nelikulmaiset ja pyöreät maalit, jotka ovat kiinteitä kohteita. Päällystysoperaatiossa pyöreän kestomagneetin tuottama magneettikenttä kohteen pinnalle on rengasmainen, tapahtuu epätasaista eroosiota, sputteroidun kalvon paksuuden tasaisuus ei ole hyvä ja kohteen käyttötehokkuus on vain noin 20 % - 30 %. Parhaillaan edistettävä onttoputkikohde voi pyöriä kiinteän tankomagneettikokoonpanon ympärillä tietyn ajan, ja 360 asteen kohdepinta voidaan syövyttää tasaisesti, millä on ilmeisiä etuja ja se nostaa käyttöasteen 80 %:iin.
Luokittelu kohdemateriaalin mukaan
Perinteiset metallikohteet:
|
Alumiininen kohde Al |
Kuparikohde Cu |
Kromi kohde Cr |
Bariumkohde Ba |
|
Vismuttikohde Bi |
Kadmium kohde-Cd |
Zirkonium target Zr |
Sinkkikohde Zn |
|
Nikkelikohde Ni |
Kobolttikohde C |
Kalsiumkohde Ca |
Niobiuma kohde Nb |
|
Indium-kohde In |
Volframikohde W |
Molybdeeni kohde Mo |
Vanadiinikohde V |
|
Rautakohde Fe |
Titaaninen kohde Ti |
Hafnium tavoite Hf |
Yttrium-kohde Y |
|
Tantaalikohde Ta |
Litium kohde Li |
Magnesium kohde Mg |
Tina kohde Sn |
|
Mangaani kohde Mn |
Lyijykohde Pb |
Piikohde Si |
Alumiininen kohde Al |
|
Beryllium kohde Be |
Kuparikohde Cu |
Scandium tavoite Sc |
|
Jalometallitarra
ETS:
|
Hopea tavoite Ag |
Kultainen tavoite Au |
Platina tavoite Pt |
Palladium tavoite Pd |
|
Rodiumin kohde Rh |
Iridium-kohde Ir |
Renium target Re |
Rutenium-kohde R |
Harvinaiset maametallikohteet:
|
Lantaanikohde La |
Cerium kohde Ce |
Praseodyymikohde Pr |
|
Samarium kohde Sm |
Europium-kohde EU |
Gadolinium kohde Gd |
|
Dysprosium kohde Dy |
Holmium kohde Ho |
Erbium kohde Er |
|
Ytterbium-kohde Yb |
Lutetium kohde Lu |
Ttuliumikohde Tm |
|
Terbium kohde Tb |
Neodyymikohde Nd |
|
Ei-metalliset kohteet:
|
Grafiittikohde C |
Boori kohde B |
Germanium-kohde G |
|
Seleenikohde Se |
Antimonikohde Sb |
Telluurikohde Te |
Kuumat haut: Kohdemateriaalit, Sputterointikohdemateriaali, tantaalikohdemateriaali, niobiumkohdemateriaali, vanadiinikohdemateriaali, kohdemateriaalin käyttö, kohdemateriaalin koko.





