Tasomainen niobiumkohde

Sputterointikohteet vaativat homogeenisen koostumuksen, sopivan hiukkaskoon ja spesifisen kristallografisen orientaation, ja näiden sputterointikohteiden korkeat vaatimukset on kaikki tarkoitettu saavuttamaan tasainen kalvon kerrostumisnopeus koko alustalle. Niobiumkohteita käytetään pääasiassa pintatekniikan materiaaleissa, kuten meri-, kemian- ja nestekidenäyttöissä, sekä pinnoiteteollisuudessa, kuten lämmönkestävyys, korroosionkestävyys ja korkea johtavuus. Litteä niobiumkohde on niobiumakohde, jonka halkaisija on suurempi tai yhtä suuri kuin 150 mm ja jota yleensä kutsutaan paljaaksi maaliksi, ja käyttäjä hitsaa sen ensin kuparilla tai alumiinilla olevalla takakohdetta käyttäessään ja sitten sputteroi niobiatomien kerrostamiseksi. substraattimateriaalille sputteroivan pinnoitteen aikaansaamiseksi. Päällysteen tasaisuuden saavuttamiseksi tasomaisen niobikohteen on murskattava niobiharkon valukiteet varmistaakseen, että niobikohteen sisäinen rakenne on täysin uudelleenkiteytetty, raekoko on alle 100 μπι ja se on tasainen.

Yrityksemme tarjoaa uuden valmistusmenetelmän, joka sisältää seuraavat vaiheet: niobiharkot taotaan säteittäisesti ja neliömäisiksi, taotut niobiharkot peitataan ja peitatut niobiharkot lämpökäsitellään; Sitten niobiharkot tasoitetaan ja taotaan, taotut niobiharkot peitataan ja peitatut niobiharkot lämpökäsitellään; Lopuksi niobiharkot rullataan tasomaisen niobikohteen saamiseksi.

Niobikohteen valmistusprosessissa taontaprosessi on yhdistelmä säteittäistä neliötä, aksiaalista pidentämistä ja tasoitustaontaa siten, että niobiharkon pylväsmäinen kidealue, keskimmäinen tasaakselinen kidealue ja sen reunan läheisyys niobivalanteen, aihion keskiosan metallivirtaus lisääntyy, keskusrakenteen epätasaisuus paranee merkittävästi ja alkuperäinen valettu karkea kiderakenne rikkoutuu täysin moneen suuntaan monisuuntaisen voiman vaikutuksesta, mikä edistää niobivalanteen muodostumista. suhteellisen tasaisen raerakenteen saamiseksi. Se välttää haitallisten kudosten, kuten "kidenauha"-kudoksen ja keskiosan jättämän karkean kiteisen kudoksen, läsnäolon ilman tehokasta pirstoutumista; Valssausvaiheessa niobiharkkojen muodonmuutos on tasaisempaa, ja prosessoinnin jälkeen välilämpökäsittelyprosessilla niobiuman kohdemateriaalin rakenne on yhä homogeenisempi ja hienostuneempi, ja lopuksi tasaakselinen kiderakenne tasomainen niobiumakohde saadaan tasainen rakenne ja raekoko alle 100 μm. Siksi tällä valmistusmenetelmällä saatiin tasaakselinen kiderakenne, jossa oli tasainen kudos ja raekoko alle 100 μπι.

Suositut Tagit: planar niobium target, toimittajat, valmistajat, tehdas, räätälöity, osta, hinta, tarjous, laatu, myytävänä, varastossa