On olemassa monenlaisia sputterointikohteita, korkeat puhtausvaatimukset ja laaja valikoima sovellusaloja. Tänään puhumme neljästä sputterointikohdetyypistä, joita käytetään yleisesti neljällä alalla, erittäin puhtaat alumiinikohteet, titaanikohteet, tantaalikohteet ja volframikohteet. Titaaninen kohde. Niiden kattamia alueita ovat litteät näytöt, puolijohteet, varastointi ja aurinkokennot.
Alumiinitavoite (varaston puhtaus 99,99 prosenttia - 99,999 prosenttia )
Erittäin puhdas alumiini ja sen seokset ovat yksi yleisimmin käytetyistä johtavista ohutkalvomateriaaleista. Sovellusalueellaan VLSI-sirujen valmistus vaatii ruiskuttamalla kohdemetalleja, joiden puhtausaste on tyypillisesti jopa 99,9995 prosenttia, kun taas litteiden näyttöjen ja aurinkokennojen metallin puhtaus on hieman alhaisempi.
Titanium Target (varaston puhtaus 99,99 prosenttia - 99,999 prosenttia)
Titaani on yksi yleisesti käytetyistä sulkukalvomateriaaleista VLSI-siruissa (vastaava johtava kerrosmateriaali on alumiini). Titaanikohdetta käytetään titaanirenkaan kanssa esisirun valmistuksen aikana. Päätehtävänä on avustaa titaanikohteiden sputterointiprosessia, jota käytetään pääasiassa erittäin laajamittaisten integroitujen piirien valmistuksessa.
Titaaninen volframikohde (varaston puhtaus 99,95 prosenttia)
Volframi-titaaniseoksilla on alhainen elektronien liikkuvuus, vakaat termomekaaniset ominaisuudet, hyvä korroosionkestävyys ja hyvä kemiallinen stabiilisuus. Viime vuosina volframi-titaaniseoksesta valmistettuja sputterointikohteita on käytetty kontaktikerrosmateriaaleina puolijohdesirujen hilapiireihin. Lisäksi volframi- ja titaanikohteita voidaan käyttää suojakerroksina myös puolijohdelaitteiden metalliliitoksissa. Korkean lämpötilan ympäristöihin, pääasiassa vlsI- ja aurinkokennoille.
Tantaalitavoite (varaston puhtaus 99 prosenttia, 99,5 prosenttia, 99,9 prosenttia, 99,995 prosenttia, 99,99 prosenttia, 99,995 prosenttia 99,999 prosenttia)
Kulutuselektroniikkatuotteiden, kuten älypuhelimien ja tablet-tietokoneiden, kysynnän räjähdysmäisen kasvun myötä huippuluokan sirujen kysyntä on kasvanut merkittävästi, ja tantaalista on tullut suosittu mineraalivarasto. Tantaaliresurssien niukkuus tekee kuitenkin kalliiksi erittäin puhtaat tantaalikohteet, joita käytetään pääasiassa suuren mittakaavan integroiduissa piireissä ja muilla aloilla.
Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. on korkean teknologian yritys, joka on erikoistunut tuotantoon ja myyntiinroiskuvat tantaalikohteetja tulenkestävät ei-rautametallimateriaalit. Tuotteita käytetään laajasti öljy-, kemian-, elektroniikka-, käsityö-, koneiden valmistuksessa, lääketieteellisissä laitteissa ja muilla aloilla. Tuotteita viedään kotimaahan ja ulkomaille.
